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目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車，即墨鋸床下料加工，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，鋸床下料加工生產，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，鋸床下料加工價格，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。
超精密加工技術的發展也促進了機械、液壓、電子、半導體、光 學、傳感器和測量技術以及材料科學的發展。從某種意義上說 ，鋸床下料加工公司，超精密加工對先進制造技術特別是納米技術對整個社會生產力水平的提高起到舉足輕重的地位，也成為衡量一個國家科技發展的標準之一 。 目前超精密加工還沒有確切的定義，一般是指達到加工精度為0.1μm或表面粗糙度 為Ra 0.0lμ m以及達到加工允差和加工尺寸之比為106的加工技術。超精密加工對環境的要求十分嚴格
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